公开/公告号CN102692275B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-04-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110068065.6
申请日2011-03-22
分类号G01J5/02(20060101);
代理机构11345 北京蓝智辉煌知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人陈红
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3#
入库时间 2022-08-23 09:24:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-08
授权
授权
2012-12-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01J 5/02 申请日:20110322
实质审查的生效
2012-09-26
公开
公开
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