用于注射已计量液体进入一室内的方法以及装置

摘要

本发明是关于一种用于计量预定量的液体去污剂进入汽化系统的方法以及装置。单一真空源(100)用以将来自于去污剂源(40)的预定量的液体去污剂填满进入注射器(60)并且亦用以于一室(80)内建立真空。将充满于注射器(60)的液体去污剂注射于上述室(80)内。上述液体去污剂是汽化于上述室(80)内以产生汽化去污剂。