用于EUV光源的具有预脉冲的主振荡器-功率放大器驱动激光器

摘要

本文描述一种设备，所述设备可以包括：光学放大器，所述光学放大器具有包括波长λ₁和λ₂的增益带，其中λ₁≠λ₂；预脉冲种子激光器，所述预脉冲种子激光器具有把预脉冲输出调谐到波长λ₁的调谐模块；主脉冲种子激光器，所述主脉冲种子激光器产生波长λ₂的激光输出；以及光束组合器，用于通过光学放大器在公共路径上引导预脉冲输出和主脉冲输出。