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公开/公告号CN102414807B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-02-04
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201080019197.3
发明设计人 约翰·瓦尔库;
申请日2010-04-28
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人李献忠
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:23:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-04
授权
2012-05-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20100428
实质审查的生效
2012-04-11
公开
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