多晶硅还原工艺中热能的回收利用方法、系统及利用该方法和系统的多晶硅还原工艺

摘要

本发明涉及一种热能的回收利用方法及系统，尤其是一种多晶硅还原工艺中热能的回收利用方法及系统，还涉及利用该方法和系统的多晶硅还原工艺。本发明最大程度的利用了还原尾气所携带的全部热量，相比传统工艺，降低了还原系统冷负荷，还原冷负荷指传统工艺中循环水带走的热量，其中很大一部分热量被混合气进气吸收了,因此降低了循环水泵电负荷，循环水散热用得冷却塔也省去了，从而降低了电耗和水耗；减少了还原热负荷，还原尾气加热完进入的氢气与三氯氢硅的混合物，不足的热量再用蒸汽补充，和传统方法比自然降低了蒸汽的消耗，蒸汽是通过燃料加热水得来的，所以降低了燃料消耗和水耗，节约了生产成本。