一种测量哈特曼波前传感器子孔径中倾斜像差的方法

摘要

一种测量哈特曼波前传感器子孔径中倾斜像差的方法，用相位调制器分别对子孔径范围内的子光波进行第1阶、第2阶Walsh函数形式二元相位调制，每次调制后的子光波被微透镜聚焦进入对应的单模光纤选模滤波，单敏探测器在光纤另一端接收无调制、第1阶调制和第2阶调制三种状态最终出射的三个光强数据，根据光强数据求得子波前中第1阶和第2阶Walsh函数系数，利用该两阶Walsh函数与倾斜像差的对应比例关系，得到子孔径内子波前中对应的两个方向倾斜像差系数；本发明充分减少每个子孔径对应的探测单元数，大大减小探测信息量，实现在单个子孔径中，用单敏光电探测器代替光电探测器阵列，提高探测速度，降低了器件成本，同时波前探测的精度不受探测单元数减少的影响。