BSIM3V3模型中的阈值电压模型参数提取方法

摘要

本发明公开了一种BSIM3V3模型中的阈值电压模型参数提取方法，提取过程为：(1)器件选择，即选择一组大尺寸器件和一组小尺寸器件，小尺寸器件选择不同长度L和不同宽度W的器件组合，大尺寸器件选择不同宽度W和相同长度L的器件，0.35μm≤L≤20μm，0.35μm≤W≤20μm，小尺寸器件的最少个数为四，大尺寸器件的最少个数为三；(2)得到观测值：测量在不同体偏压Vbs(-3V-0V)和漏偏压Vds(0V-3V)下阈值电压Vth的值，得到一组Vth的观测值；(3)计算得到参数。本发明实现了参数的整体提取，不需要人工干预，准确度高。