公开/公告号CN102047151B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN200980120016.3
申请日2009-05-05
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:19:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-16
授权
授权
2011-07-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 5/08 申请日:20090505
实质审查的生效
2011-05-04
公开
公开
机译: 辐射系统,辐射收集器,辐射束调节系统,用于辐射系统的光谱纯度滤光片和形成光谱纯度滤光片的方法
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