用于电池和超电容器的多孔三维铜、锡、铜锡、铜锡钴、及铜锡钴钛电极

摘要

在此提供一种用于形成可靠且合乎经济效益的电池或电化学电容器电极结构的方法及设备，所述电极结构具有改善的寿命、较低的生产成本以及改善的工艺性能。在一个实施例中，提供一种用于形成电池或电化学单元的三维多孔电极的方法。所述方法包含通过扩散限制沉积工艺以第一电流密度在基板之上沉积圆柱状金属层；以及以大于该第一电流密度的第二电流密度在该圆柱状金属层之上沉积三维金属多孔树突状结构。