振动型致动器、振动器以及振动器的制造方法

摘要

本发明涉及振动型致动器、振动器以及振动器的制造方法，其即使在实现速度增加的时候也可以提供令人满意的致动器性能并且有接触弹力。所述致动器包括振动器，其配备有：电-机械能量转换元件；固定有所述电-机械能量转换元件的弹性部件；以及设置在所述弹性部件上的突出物。所述振动器能够在所述突出物中产生椭圆运动。从动体被构造用以接触突出物并相对于振动器进行相对运动。突出物包括：接触部分，所述接触部分具有与所述从动体相接触的接触表面；连续的侧壁部分，其相对于弹性部件的一个端面凸出并形成中空结构；以及连接部分，其连接接触部分和侧壁部分并在垂直于接触表面的方向上具有柔性。