法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-17
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更前: 变更后: 申请日:20120515
著录事项变更
2015-06-24
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C14/35 变更前: 变更后: 申请日:20120515
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-06-24
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更前: 变更后: 申请日:20120515
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-06-10
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C14/35 变更前: 变更后: 申请日:20120515
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-06-10
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更前: 变更后: 申请日:20120515
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-05-28
授权
授权
2014-05-28
授权
授权
2014-03-12
著录事项变更 IPC(主分类):C23C14/35 变更前: 变更后: 申请日:20120515
著录事项变更
2014-03-12
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更前: 变更后: 申请日:20120515
著录事项变更
2012-11-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/35 申请日:20120515
实质审查的生效
2012-11-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20120515
实质审查的生效
2012-09-19
公开
公开
2012-09-19
公开
公开
查看全部
机译: 磁控溅射镀膜装置,纳米多层膜及其制备方法
机译: 磁控溅射镀膜装置,纳米多层膜及其制备方法
机译: 磁控溅射镀膜装置及纳米多层膜的制备方法