以氧化钛为主成分的薄膜、适于制造以氧化钛为主成分的薄膜的烧结体溅射靶以及以氧化钛为主成分的薄膜的制造方法

摘要

本发明涉及一种以氧化钛为主成分的薄膜，其特征在于，包含Ti、Ag和O成分，Ti为29.6原子％以上且34.0原子％以下，Ag为0.003原子％以上且7.4原子％以下，余量由氧构成，氧与金属的比O/(2Ti+0.5Ag)为0.97以上。本发明的目的在于得到高折射率、并且具有低消光系数的以氧化钛为主成分的薄膜、适于制造该薄膜的以氧化钛为主成分的烧结体溅射靶以及以氧化钛为主成分的薄膜的制造方法。本发明的目的还在于得到同时具有优良的透射性、反射率的下降少、可以作为光信息记录介质的干涉膜或保护膜使用的薄膜。另外，也可以应用于玻璃衬底，即可以作为热反射膜、防反射膜、干涉滤光片使用。