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纹理化DLC涂层的方法及由此获得的纹理化的DLC涂层

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摘要

本发明涉及纹理化DLC涂层的方法，包括：在DLC涂层的自由表面上沉积球状物或球状体的单层；用氧等离子体干法蚀刻DLC涂层；和清洗所述涂层的表面以去除所述球状物或球状体。

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-31

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/56 授权公告日:20140312 终止日期:20180609 申请日:20100609

专利权的终止
2014-03-12

授权

授权
2014-03-12

授权

授权
2012-07-04

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/56 申请日:20100609

实质审查的生效
2012-07-04

实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/56 申请日:20100609

实质审查的生效
2012-05-23

公开

公开
2012-05-23

公开

公开

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1. 纹理化DLC涂层的方法及由此获得的纹理化的DLC涂层 [P] . 中国专利： CN102471888B . 2014.03.12
2. 具有DLC涂层的零件和应用DLC涂层的方法 [P] . 中国专利： CN103547707B . 2016.03.02
3. Method for texturing DLC coatings, and textured DLC coatings thus obtained [P] . 美国专利： US9040141B2 . 2015-05-26

机译：使DLC涂层纹理化的方法以及由此获得的纹理化DLC涂层
4. DLC coating that has been textured obtained by this method and texturing the DLC coating [P] . 日本专利： JP2012533501A . 2012-12-27

机译：通过此方法获得纹理化的DLC涂层并纹理化DLC涂层
5. METHOD FOR TEXTURING DLC COATINGS, AND TEXTURED DLC COATINGS THUS OBTAINED [P] . 美国专利： US2012183731A1 . 2012-07-19

机译：用于DLC涂层的纹理化方法以及获得的纹理化DLC涂层