公开/公告号CN102566303B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 东莞生益电子有限公司;
申请/专利号CN201110393888.6
申请日2011-12-01
分类号G03F7/20(20060101);G06F17/50(20060101);
代理机构11403 北京风雅颂专利代理有限公司;
代理人李翔;李弘
地址 523000 广东省东莞市东城区(同沙)科技工业园区
入库时间 2022-08-23 09:17:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-16
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G03F 7/20 变更前: 变更后: 申请日:20111201
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-01-08
授权
授权
2012-09-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20111201
实质审查的生效
2012-07-11
公开
公开
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