透明聚合物材料微器件键合封装质量检测装置及检测方法

摘要

透明聚合物材料微器件键合封装质量检测装置及检测方法，是基于生物可降解材料PLGA等这类透明聚合物良好的可见光透射性能而提出的——可见光透射检测法，检测原理是基于光垂直入射材料键合部位时光在不同键合质量情况下反射情况的不同从而引起透射光强的不同，从而可由此原理通过透射图像的处理判断透明聚合物材料微器件的键合质量，设计了有效的可见光透射图像采集设备并进行有效的图像处理。此种方法能有效检测这种特殊透明聚合物材料的微器件结构键合封装质量，是一种高效的无损检测方法，设备简单，依据此方案能设计有效的检测设备，并利于在线检测的实现。