公开/公告号CN102540737B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-12-11
原文格式PDF
申请/专利权人 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司;
申请/专利号CN201010586235.5
发明设计人 黄玮;
申请日2010-12-14
分类号G03F7/20(20060101);G03F7/22(20060101);
代理机构44224 广州华进联合专利商标代理有限公司;
代理人何平
地址 214028 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号
入库时间 2022-08-23 09:17:08
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-13
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20180622 变更前: 变更后: 申请日:20101214
专利申请权、专利权的转移
2017-11-03
专利权的转移 IPC(主分类):G03F7/20 登记生效日:20171013 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2017-11-03
专利权的转移 IPC(主分类):G03F 7/20 登记生效日:20171013 变更前: 变更后: 变更前:
专利申请权、专利权的转移
2013-12-11
授权
授权
2013-12-11
授权
授权
2013-12-11
授权
授权
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20101214
实质审查的生效
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20101214
实质审查的生效
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20101214
实质审查的生效
2012-07-04
公开
公开
2012-07-04
公开
公开
2012-07-04
公开
公开
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