电荷耗散场发射器件和在场发射器件内减少充电的方法

摘要

提供一种电荷耗散场发射器件和在场发射器件内减少充电的方法。该电荷耗散场发射器件包括：具有主表面的支撑衬底；置于所述支撑衬底的主表面上的阴极；在所述支撑衬底的主表面上与所述阴极相邻地形成的具有电荷收集表面的电荷耗散层；在阴极和电荷耗散层上形成的介质层，该介质层确定一个发射阱，该介质层和所述电荷耗散层的电荷收集表面确定一个电荷耗散阱；在发射阱中形成的电子发射极；以及与介质层隔离以在它们之间确定一个间隙区的阳极，所述电荷耗散阱与该间隙区连接。