制备二氧化铈的方法、由该方法制备的二氧化铈和含有该二氧化铈的CMP浆料

摘要

本发明涉及一种制备二氧化铈的方法，该方法能制备出显示出改进的抛光性能的二氧化铈；由该方法制备的二氧化铈；及含有该二氧化铈的CMP浆料。该制备二氧化铈的方法包括使二氧化铈与伯醇接触从而使二氧化铈的比表面积增加10％或更多的步骤。