用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物、间隔体及其形成方法

摘要

本发明提供一种含有(A)至少含有1种来自(a1)分子内含有至少2个聚合性不饱和基的化合物的聚合单元的共聚物、(B)聚合性不饱和化合物和(C)放射线敏感性聚合引发剂的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。提供高灵敏度、高分辨率且可以形成图案形状、压缩特性、摩擦耐性、耐热性等各种性能优异的图案状薄膜、抑制了烧结时的升华物的产生、抑制了LCD显示中的图像残留、对于负载负荷不易产生塑性变形、对于取向膜剥离液等化学试剂具有充分的耐性的用于形成间隔体的放射线敏感性树脂组合物。