制备低电阻率、掺杂氧化锌涂层玻璃物件的方法及由此制成的涂层玻璃物件

摘要

本发明描述并要求保护一种制备低电阻率、掺杂氧化锌涂层玻璃物件的大气化学气相沉积方法，通过将一个或多个气体反应物流，特别是含锌化合物、含氟化合物、含氧化合物，和至少一种包含硼、铝、镓和铟其中一种或多种的化合物引到热玻璃衬底的表面上而制成。