一种激光剥蚀方法及装置

摘要

本发明公开了一种激光剥蚀方法及装置，所述激光剥蚀装置包括：飞秒激光模块、振镜系统和场镜，所述振镜系统包括X轴振镜和Y轴振镜；所述X轴振镜沿X轴方向调节激光在样品表面聚焦的位置，所述Y轴振镜沿Y轴方向调节激光在样品表面聚焦的位置；所述X轴方向和Y轴方向互相垂直；所述X轴振镜和Y轴振镜可以以预设的频率进行高频绕轴往复转动使激光焦点在多个位置间切换；所述场镜用于将激光脉冲聚焦到样品上。本发明的激光剥蚀装置可以在纳秒时间段内激光剥蚀不同区域的样品，对于均质样品，产生的微粒数更多，元素分析时的灵敏度更高；对于不同的样品，产生的颗粒混匀后元素分析时得到的样品信息更丰富。