偏航率传感器和用于运行偏航率传感器的方法

摘要

本发明涉及一种具有衬底和第一科氏元件的偏航率传感器，其中，设有用于激励所述第一科氏元件在第一方向上振动的激励装置，其中，设有用于检测所述第一科氏元件在与所述第一方向基本上垂直的第三方向上的第一偏移的第一检测装置，其特点在于，所述第一科氏元件构造为等臂梁。