一种高灵敏度光纤气压传感器、传感器的制作及气压的测量方法

摘要

一种高灵敏度光纤气压传感器、传感器制作及测试方法，传感器包括相互并联的参考腔及传感腔；参考腔及传感腔放置于压力计中，参考腔与传感腔输出端分别通过耦合器与解调仪信号输入端连接，解调仪信号输出端连至计算机，由于气压的变化对参考腔的形变影响很小，因此当外界环境气压发生变化时，参考腔形成的干涉光谱不会发生明显移动；同理由于传感腔对气压的变化敏感，因此当外界环境气压发生变化时，传感器腔形成的干涉光谱会发生明显移动；本发明与单腔结构相比，气压测量打破单光纤F‑P腔结构的限制，使光纤F‑P传感器结构的灵敏度有较大程度的提高；优化气压传感器的制作工艺，降低其制作成本，提高传感器在实验中重复使用率。