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公开/公告号CN114703462A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-05
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;
申请/专利号CN202210231364.5
发明设计人 于卿源;陈新春;张晨辉;雒建斌;
申请日2022-03-09
分类号C23C14/50;C23C16/458;
代理机构北京华进京联知识产权代理有限公司;
代理人金铭
地址 100084 北京市海淀区清华园
入库时间 2023-06-19 15:52:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-05
公开
发明专利申请公布
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