估计模型制作装置、估计模型制作方法以及存储介质

摘要

本发明提供估计模型制作装置、估计模型制作方法以及存储介质。估计模型制作装置具有：处理后图像获取部，其获取与被进行了膜处理的基板的表面有关的图像信息即处理后图像；基底图像获取部，其获取与被进行膜处理前的处理前基板的表面有关的图像信息即处理前图像；灰度值估计模型制作部，其制作根据处理前图像中包含的与基板的表面的颜色有关信息来估计处理后图像中包含的与基板的表面的颜色有关的信息的颜色变化估计模型；以及相关性估计模型制作部，其制作求出处理后图像中包含的与基板的表面的颜色有关的信息同由颜色变化估计模型估计出的结果之差并估计该差与进行膜处理所得到的对象膜的形状特性值之间的相关性的相关性估计模型。