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公开/公告号CN114642185A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-21
原文格式PDF
申请/专利权人 海南省海洋与渔业科学院;
申请/专利号CN202210294654.4
发明设计人 王国福;夏光远;李丙顺;刘玉山;汪坤;
申请日2022-03-24
分类号A01K61/51;C02F9/14;C02F103/20;C02F103/08;
代理机构厦门市首创君合专利事务所有限公司;
代理人张松亭;秦彦苏
地址 570000 海南省海口市美兰区白驹大道12号
入库时间 2023-06-19 15:44:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-21
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置
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