一种微悬梁臂探针及其制作方法

摘要

本发明提供一种微悬梁臂探针及其制作方法，该方法包括以下步骤：提供一自下而上依次包括背衬底、绝缘层及顶层硅的SOI衬底，形成硬掩膜层于所述顶层硅上；图形化所述硬掩膜层，图形化后的所述硬掩膜层覆盖探针针尖所在区域；形成悬梁臂凹槽于所述顶层硅中，所述悬梁臂凹槽自所述顶层硅的顶面开口，并往所述绝缘层方向延伸，但未到达所述绝缘层；以图形化后的所述硬掩膜层为掩膜刻蚀所述顶层硅，直至所述悬梁臂凹槽的底部显露出所述绝缘层，以同步得到悬梁臂及位于所述悬梁臂上方的探针。本发明同步形成悬梁臂及探针，并利用键合胶保护探针针尖结构在工艺过程中不被损坏，工艺更加稳定可控，可以批量稳定地制作高质量的微悬梁臂探针。