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一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法

摘要

本发明提供了一种检测异形靶材尺寸的检具及检测方法,所述异形靶材整体呈锅形,所述检具呈板状,包括内检具和外检具两部分,所述内检具的形状与异形靶材内部纵截面的形状相匹配,所述外检具为一侧开口形成凹槽的板状结构件,所述外检具中凹槽的形状与异型靶材外部纵截面的形状相匹配;所述内检具和外检具独立设置,所述内检具的尺寸小于外检具中凹槽的尺寸。本发明所述检具通过内检具和外检具两部分独立结构的设计,使其与异形靶材的内、外部结构相匹配,从而能够对该类靶材的尺寸进行精确检测,检测速率快,效率高,相比传统的三坐标测量机检测时检测时间明显缩短;所述检具结构简单,检测方法操作简便,成本较低。

著录项

  • 公开/公告号CN114485508A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-05-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司;

    申请/专利号CN202210145198.7

  • 申请日2022-02-17

  • 分类号G01B21/00;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

  • 入库时间 2023-06-19 15:18:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B21/00 专利申请号:2022101451987 申请日:20220217

    实质审查的生效

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