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一种靶材孔位的安装检具及检测方法

摘要

本发明提供了一种靶材孔位的安装检具及检测方法,所述安装检具包括检具主体和检具插销,两者独立设置;所述检具主体呈圆环形结构,其中间位置设有通孔,所述检具主体上设有多个圆柱形凸起,其数量与靶材标准孔的数量相同,圆柱形凸起对应插入靶材的孔位中;所述检具插销呈圆柱状结构,其两端均设有插销头,一端插销头的直径大于靶材孔的直径,另一端则小于靶材孔的直径。本发明根据待检测靶材中孔位的结构及分布,设计相应的安装检具,检具主体上的圆柱形凸起便于检测靶材上孔的位置是否合适,检具插销则检测靶材上孔的直径是否合适,检测速率快,精确度高,使之安装时的匹配性较好;所述安装检具结构简单,检测方法操作简便,成本较低。

著录项

  • 公开/公告号CN114485325A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-05-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 宁波江丰电子材料股份有限公司;

    申请/专利号CN202210144585.9

  • 申请日2022-02-17

  • 分类号G01B5/00;G01B5/08;

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路

  • 入库时间 2023-06-19 15:18:12

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-05-31

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/00 专利申请号:2022101445859 申请日:20220217

    实质审查的生效

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