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公开/公告号CN114388043A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 美光科技公司;
申请/专利号CN202111196433.5
发明设计人 B·T·佩哈;B·T·格劳利克;N·K·科皮克;
申请日2021-10-14
分类号G11C29/12;
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;
代理人彭晓文
地址 美国爱达荷州
入库时间 2023-06-19 15:02:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-22
公开
发明专利申请公布
机译: 离子注入装置及离子注入方法
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