谐振型红外传感器、谐振型红外传感器的制备方法及装置

摘要

本文公开一种谐振型红外传感器、谐振型红外传感器的制备方法及装置，谐振型红外传感器包括：谐振振子、红外线吸收膜和位于谐振振子下方的衬底；其中，谐振振子设置有一个以上第一通孔；红外线吸收膜设置有一个以上第二通孔；其中，第一通孔和第二通孔用于通过腐蚀性流体，以在衬底上刻蚀空腔。本发明实施例通过设计可刻蚀空腔的衬底，通过空腔调整实现了对谐振型红外传感器的支撑锚的热阻的调整，进而实现了对灵敏度和响应时间的调整；空腔调整无需重新设计版图，减小了谐振型红外传感器的设计周期和成本，使谐振型红外传感器可以适用于更多的灵敏度和响应时间不同的场景。