公开/公告号CN114334473A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 深圳江浩电子有限公司;
申请/专利号CN202111565416.4
申请日2021-12-16
分类号H01G11/30(20130101);H01G11/86(20130101);
代理机构11508 北京维正专利代理有限公司;
代理人陈方;梁宇珊
地址 518035 广东省深圳市光明新区公明办事处上村社区经济发展总公司第六工业区第4号、6号下村社区北环路第六工业区8号
入库时间 2023-06-19 14:51:31
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布
机译: 如何从板处理设备的桌子上卸下板处理设备和板
机译: 基板加热装置,基板处理系统及基板加热方法