重叠测量系统以及重叠测量装置

摘要

本发明能够根据SN比低的图案图像测量出工艺间的重叠误差。因此，根据二次电子检测器(107)的检测信号形成二次电子像(200)，根据反射电子检测器(109)的检测信号形成反射电子像(210)，制作将反射电子像中的亮度信息沿线图案的长度方向相加而得的SUMLINE轮廓(701)，使用根据二次电子像检测出的上层图案的位置信息、和使用基于SUMLINE轮廓从反射电子像推定出的推定线图案(801)而检测出的下层图案的位置信息，计算出试样的重叠误差。