公开/公告号CN114269680A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-01
原文格式PDF
申请/专利权人 弗劳恩霍夫应用研究促进协会;
申请/专利号CN202080057896.0
申请日2020-07-28
分类号B81B3/00(20060101);B81B7/02(20060101);
代理机构11569 北京高沃律师事务所;
代理人石佳
地址 德国慕尼黑
入库时间 2023-06-19 14:43:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-01
公开
国际专利申请公布
机译: 具有改进的止动器结构制造方法的MEMS MEMS器件,所述相同的MEMS封装和包括所述MEMS器件的计算系统