基于多构型微热驱动阵列的MEMS器件稳定性提升机理与方法研究

摘要

MEMS器件在高尖端武器装备中未得到广泛应用的主要原因是器件稳定性达不到应用要求.目前,提高MEMS器件稳定性的主要手段是被动补偿,但由于元器件的温度特性建模难度大采取补偿的方法不可避免的会存在测量误差和控制滞后,MEMS器件仍然难以达到高稳定性.针对这一问题,本项目提出了一种提高MEMS器件稳定性的新方法—利用微热驱动阵列调节和控制MEMS器件力学特性.通过在关键微结构上施加精确的控制应力,并及时修正其力学特性的微小变化使其工作状态保持恒定,将能更好地解决MEMS器件的稳定性问题.