电容薄膜真空计的膜片预紧装置、预紧系统及预紧方法

摘要

本发明涉及测量仪器技术领域，具体公开了一种电容薄膜真空计的膜片预紧装置、预紧系统及预紧方法，其中，预紧装置包括：工作台，用于承托中心膜片；夹具组件，用于夹持中心膜片，多个夹具组件滑动安装在工作台上，且能沿中心膜片径向滑动；驱动组件，与工作台连接，用于驱动夹具组件相对于中心膜片同步进行径向滑动；该预紧装置能利用驱动组件同步驱动夹具组件进行相对于中心膜片中心位置的径向滑动而对中心膜片施加多个方向的径向向外的拉力，实现中心膜片的周向性张紧，不会对中心膜片施加竖直方向的剪切力，故不会产生应力集中的问题，能确保中心膜片顺利地被张紧的同时，能对中心膜片施加更强的张紧作用。