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红黄GaAs二极管的外延结构及其制备方法

摘要

本发明提供一种红黄GaAs二极管的外延结构及其制备方法,该外延结构包括:衬底及在所述衬底上依次向上生长的布拉格反射镜、多量子阱层、P型限制层、P型覆盖层及电流扩展层;其中,所述布拉格反射镜为周期性结构,对所述布拉格反射镜进行Si掺杂且Si掺杂浓度随所述布拉格反射镜结构的生长周期先渐进式递增再渐进式递减,以使所述布拉格反射镜包含N型覆盖层和N型限制层的功能。本发明能够简化外延结构及外延加工工艺,使生产成本更加低廉,且使布拉格反射镜综合了布拉格反射镜结构、N型覆盖层结构及N型限制层结构的功能,能够提高二极管的发光亮度。

著录项

  • 公开/公告号CN114242858A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 江西兆驰半导体有限公司;

    申请/专利号CN202210183371.2

  • 申请日2022-02-28

  • 分类号H01L33/10(20100101);H01L33/02(20100101);H01L33/00(20100101);

  • 代理机构36150 南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙);

  • 代理人彭琰

  • 地址 330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号

  • 入库时间 2023-06-19 14:37:32

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-03-25

    公开

    发明专利申请公布

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