激光照射装置以及激光照射方法

摘要

本发明公开一种激光照射装置以及激光照射方法。激光照射装置可以包括：激光光源，产生激光束；第一透镜，供在所述激光光源中产生的所述激光束穿过；第一扫描仪，反射穿过所述第一透镜的所述激光束，并改变所述激光束的方向；第二扫描仪，反射在所述第一扫描仪中偏向的所述激光束，并改变所述激光束的方向；多个第二透镜，供在所述第二扫描仪中偏向的所述激光束穿过，并向一方向振动；以及光学元件，供穿过所述多个第二透镜的所述激光束穿过，并校正基板上所述激光束的入射角。由此，可以减少在使非晶半导体膜结晶时产生的结晶斑纹，可以制造高分辨率的显示面板。