一种液相生长氮化铝的生长结构及生长方法

摘要

本发明提供了一种液相生长氮化铝的生长结构及生长方法，包括底部带有氮化铝籽晶的石墨棒、碳化钽多孔过滤网以及碳化钽坩埚和碳化钛坩埚构成的复合嵌套坩埚；其中，所述复合嵌套坩埚放置在石墨发热坩埚中；所述碳化钽坩埚嵌套在所述碳化钛坩埚内，二者嵌套空隙中填入氮化铝料源；所述碳化钽多孔过滤网包括盖板和焊接下沉过滤网，二者之间通过多条碳化钽支撑柱连接，所述盖板上设置有供所述石墨棒通过的圆孔。本发明通过在坩埚夹层中加热氮化铝粉末并通过籽晶轴中心通入高温裂解氮，使得籽晶在近液面进行生长；生长过程中变换高温位置和生长气氛生长高质量氮化铝单晶；从而解决了高温下高速生长带来的多型、杂晶、液相包裹物等问题。