基于N掺杂的SiC纳米结构阵列构建的具有全天候服役能力的压电纳米发电机的制备方法

摘要

本发明提供了一种基于N掺杂的SiC纳米结构阵列构建的具有全天候服役能力的压电纳米发电机的制备方法，属于无机非金属材料科学与能源材料技术领域，其步骤包括：制备N掺杂的碳化硅，制备自支撑的碳化硅纳米结构阵列薄膜，对碳化硅纳米结构阵列薄膜性能优化，及构筑具有全天候服役能力的压电纳米发电机等过程。本发明提供的基于N掺杂的SiC纳米结构阵列构建的具有全天候服役能力的压电纳米发电机的制备方法，制得的压电纳米发电机受到沿厚度方向的外力时，在宏观上表现出显著的电信号输出。并且，制得的压电纳米发电机在‑80℃～80℃的温度和0‑100％的相对湿度条件下工作300‑500天仍然能够保持稳定输出。