一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备

摘要

本发明提供一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备，属于真空设备技术领域，其中，单向微滤阀包括：阀体、阀芯、弹性件、微滤件和节流塞，所述阀芯滑动设置在阀体内；所述弹性件连接所述阀芯，具有使所述阀芯朝向将所述流通通道封闭的方向进行移动的弹性力；微滤件，设置在所述流通通道内，用于过滤流通在所述流通通道的流体；节流塞，设置在所述阀体的进口段内，具有与所述微滤件连通的节流孔；本发明的单向微滤阀，在进口段内通过节流塞配合微滤件，实现超低流量的通过，并通过微滤件保证通过的流体具有超高洁净度，从而保证流体能够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。