产生第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置

摘要

本发明涉及用于产生微光刻的第一部件与第二部件之间的粘合接合的方法和装置，其中第二部件是光学元件。方法包括以下步骤：将第一部件和第二部件引入到定位装置(100)中，其可以改变第一部件与第二部件之间的相对位置；校准第一相对位置，在第一相对位置，第一部件与第二部件之间的距离具有限定预定义粘合间隙的第一值；校准第二相对位置，在第二相对位置，第一部件与第二部件之间的距离具有大于所述第一值的第二值；在第一部件和第二部件彼此之间相距大于所述第一值的距离时将粘合剂(26)施加到第一部件；以及在第一部件与第二部件之间形成粘合接合时设置第一相对位置；其中，校准第一相对位置和校准第二相对位置两者仍然在将粘合剂施加到第一部件之前实行。