具有粗糙材料填充物的集成组合件及形成集成组合件的方法

摘要

一些实施例包含一种具有延伸到集成配置中的开口的结构。第一材料位于所述开口内且经配置以产生相对于所述开口的侧壁的波状构形。所述波状构形具有由平均粗糙度参数Rmean特征化的表面粗糙度，所述Rmean是沿所述波状构形的平均峰谷距离。所述Rmean是至少约4nm。第二材料位于所述开口内且沿所述波状构形的至少一部分。所述第一材料及所述第二材料在组成上彼此不同。一些实施例包含集成组合件。一些实施例包含形成集成组合件的方法。