一种新型硅基混合材料集成电光调制器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种新型硅基混合材料集成电光调制器及其制备方法，该新型硅基混合材料集成电光调制器包括依次层叠排布的衬底层、隔离层和功能层，功能层包括硅波导单元、地电极、信号电极、以及导电溶胶凝胶；波导单元包括调制臂，调制臂一侧通过导电溶胶凝胶与地电极连接，调制臂另一侧通过导电溶胶凝胶与信号电极连接。本发明方案通过引入梳子状结构的导电溶胶凝胶来连接金属电极与调制臂，使电光调制器的响应速度和调制带宽显著提高，同时使光传输损耗显著降低。