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热物性值测定装置和热物性值测定方法

摘要

在热物性值测定装置(1)中具有与试料(10)的试料薄膜的表面相面对而设置的除了开口部之外遮光的遮光体(11)。从加热用激光器(22)输出的重复脉冲的加热光通过遮光体(11)照射到试料薄膜。从测温用激光器(23)输出的连续光的测温光照射到试料薄膜上的从加热光照射位置开始离开预定距离的测定位置。光检出器(26)检出测温光在试料薄膜上的反射光,计算机(28)获取由AD转换器(27)数字转换后的热反射信号。计算机(28)基于所获取的热反射信号,计算试料(10)的试料薄膜的沿面方向的热物性值。

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  • 2022-03-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N25/18 专利申请号:2019800976679 申请日:20191204

    实质审查的生效

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