一种高纯液态化学品分装系统及方法

摘要

本发明涉及一种高纯液态化学品分装系统及方法，包括高纯气体源、抽真空设备、原料罐以及产品罐；其中，原料罐上设置有第一手动阀和第二手动阀，产品罐上设置有第三手动阀、第四手动阀；高纯气体源通过设置到管路上的第一气动阀、压力计连接到第一手动阀上；通过设置到管路上的第五气动阀、第六气动阀、压力计、第七气动阀连接到第三手动阀上；抽真空设备通过设置到管路上第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀连接到第二手动阀上；通过管路连接第六气动阀；第四气动阀连接第六气动阀，第一气动阀连接所述第三气动阀。本装置系统通过多次抽真空切换，实现了内部的高纯度。