对电子束敏感晶体的三维电子衍射数据采集方法及系统

摘要

本发明实施例提供的对电子束敏感晶体的三维电子衍射数据采集方法及系统，首先按照在对电子束敏感晶体的三维电子衍射数据采集过程中获得的匹配采集干扰因素的环境干扰活动信息，提取具有时空域联系的多个环境干扰时空域分布，然后确定所述环境干扰时空域分布对应的时空域映射特征，假设所述时空域映射特征匹配预设状态条件，确定与所述具有时空域联系的多个环境干扰时空域分布对应的测试环境干扰事件，最后按照所述测试环境干扰事件以及所述三维电子衍射数据采集过程的环境干扰活动信息，对所述时空域映射特征进行干扰去噪。如此，可针对环境干扰活动进行智能决策分析，并由此进行干扰去噪处理，提高采集可靠性和稳定性。