具有高温扩散屏蔽性能的NbTaMoWNx氮化物涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种具有高温扩散屏蔽性能的NbTaMoWNx氮化物涂层及其制备方法。所述方法以NbTaMoW高熵合金为磁控溅射靶材，采用直流磁控溅射方法，在Ar和N2气氛下，制得具有高温扩散屏蔽性能的NbTaMoWNx氮化物涂层。本发明通过直流磁控溅射方法来制备NbTaMoWNx氮化物涂层，工艺简便迅速，重复性好，制得的NbTaMoWNx氮化物涂层为非晶相结构，厚度较小，具有较好的热稳定性、电学性能以及高温扩散屏蔽性能，可以应用在集成电路中作为Cu‑Si器件中的扩散屏蔽层。