公开/公告号CN113937212A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-01-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN202111194146.0
申请日2021-10-13
分类号H01L39/02(20060101);H01L39/24(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人赵琴
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-06-19 13:54:12
机译: 一种超导集成电路结构的制造方法
机译: 制造用于集成电路结构以抑制通孔中毒的倾斜侧壁通孔的方法
机译: 一种用于制造由超导材料制成的超导装置的方法,从而制造一种超导装置