微粒子的制造装置及微粒子的制造方法

摘要

本发明提供一种微粒子的制造装置及微粒子的制造方法，可控制微粒子的粒径，且能效率良好地大量制造粒径均一性良好的微粒子。本发明具有：原料供给部，将微粒子制造用的原料供给至热等离子体火焰中；等离子体炬，在其内部产生热等离子体火焰，利用热等离子体火焰使由原料供给部供给的原料蒸发而成为气相状态的混合物；等离子体产生部，在等离子体炬的内部产生热等离子体火焰。等离子体产生部具有：包围等离子体炬的周围的第1线圈、沿着等离子体炬的长度方向排列设置在第1线圈的下方且包围等离子体炬的周围的第2线圈、对第1线圈供给振幅调变后的第1高频电流的第1电源部、及对第2线圈供给振幅调变后的第2高频电流的第2电源部。第1高频电流的调变度比第2高频电流的调变度小。